项目名称：
二次配总包

项目名称：
Y23 增加一台 EMA 设备；溅射 Varian3290 Hook up；空压机 工程；干燥机 工程；OP 空压机能效提高/FAB23 压缩空气干燥机更换；TSA03 增加1个PE-TEOS CHM和改造1个PE-TEOSCHM；Y23 增加一台 EMA 设备(EMA04 Chiller 电源)

项目名称：
大宗气主系统管道安装

项目名称：
PCW 二次配