项目名称：
FAB5 200mm 续建48K 二次配装机工程；PCW 二次配；排气主系统扩充项目；8寸43.5K、12寸3K大宗气系统管道安装；8寸43.5K、12寸3KLOOP/PDS系统管道安装；8寸80K大宗气系统管道扩充项目；二次配系统工程(8寸43.5K)；Skylens Demo 机台二次配；二次配系统工程(8寸80K)；二次配系统工程(6寸SIC)；二次配系统工程（12寸3K）

项目名称：
IW 自来水、PCW 二次配 、PV 二次配、PCW 二次配

项目名称：
二次配系统工程

项目名称：
纯水、废水、化学二次配项目；工艺盘柜扩充项目

项目名称：
JV3 Hookup 纯废水化学包；JV3 工艺配电盘

项目名称：
客户端机台管道更换

项目名称：
Y23 增加一台 EMA 设备；溅射 Varian3290 Hook up；空压机 工程；干燥机 工程；OP 空压机能效提高/FAB23 压缩空气干燥机更换；TSA03 增加1个PE-TEOS CHM和改造1个PE-TEOSCHM；Y23 增加一台 EMA 设备(EMA04 Chiller 电源)

项目名称：
大宗气主系统管道安装

项目名称：
PCW 二次配